Currently the engineering and architectural solutions pertaining to development of automated control systems for specialized technological equipment based on domestic components are not standardized. Searching and application of universal technical solutions make it possible to reduce STE development time, to increase its reliability and decrease the hardware maintenance cost. In this work, the tasks arising during operation of automated processing equipment control systems at manufacturing site are considered, including the use of programmable logic controllers and specialized computing devices. The results of an analysis of modern hardware and software tools for designing control systems for specialized technological equipment are given. New engineering and architectural solutions are proposed and recommendations for their application in electronic engineering are provided. On the grounds of performed analysis, a unified structure for an automated control system based on distributed control system technologies is proposed, which can be used in the design or modernization of specialized technological equipment. The application of the proposed structure has been demonstrated through the development of an automated control system for an electron beam lithography installation. The results obtained can be used in the design of domestic specialized technological equipment.
В настоящее время технические и архитектурные решения в области разработки автоматизированных систем управления специальным технологическим оборудованием на отечественной элементной базе не унифицированы. Поиск и применение общих архитектурно-технических решений позволит сократить время разработки технологиче-ского оборудования, повысить его надежность и снизить стоимость обслуживания. В ра-боте рассмотрены задачи, возникающие при эксплуатации автоматизированных систем управления технологическим оборудованием на производстве, включая применение про-граммируемых логических контроллеров и специализированных вычислительных средств. Приведены результаты анализа современных аппаратных и программных средств для проектирования систем управления специальным технологическим оборудованием. Предложены новые технические и архитектурные решения и даны рекомендации по их применению в электронном машиностроении. На основе проведенного анализа представлена унифицированная структура автоматизированной системы управления на базе технологий распределенных систем управления, которая может быть использована при проектировании или модернизации специального технологического оборудования. Показано применение данной структуры на примере разработки системы автоматизированного управления установкой электронно-лучевой литографии. Полученные результаты могут быть использованы при проектировании отечественного специального технологического оборудования.